回收提拉式单晶炉+秀洲离子泵回收附近的电话

详细信息

产品规格：单晶炉设备回收

产品数量：100

包装说明：提拉式单晶炉回收

价格说明：120200

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技术领域：本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术：图1为切克劳斯基(直拉)法硅单晶的单晶炉剖面示意图，图1-2 中，l为炉筒，2为保温盖，3为保温盖，4为保温材津牛，5为保温罩，6为加热器，7为水套，8为石英埚，9为导流筒，IO为护盘，12为氩气输入管，11为分布有孔11-1的环形气体分布器，13为排气口。名称：直拉式单晶生长炉的方法直拉式单晶生长炉的方法直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入氩气尤其是坩埚支持器下方的空间较大，导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出，热能消耗量较大，另外，现有技术中，从氩气输入管向炉内充入氩气时，充气气压为1. 3x 103pa，氩气流量为40L/min，因此其氩气消耗量大，生产成本较高。

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通过石墨加热器产生的高温将其熔化，然后，对熔化的硅液稍降温，使之产生一定的过冷度，再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体（称作籽晶）插入熔体表面，待籽晶与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶体便会在籽晶下端生长，接着，控制籽晶生长出一段长为100mm左右，直径为3～5mm的细颈，用于高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错，这个过程是引晶，随后。把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚单晶硅生长炉的原理简介/我有更好的/首先放大晶体直径到工艺要求的大小。99%以上的集成电路是硅集成电路。生产集成电路所需要的单晶硅，是在硅结晶生长始时，用低速提拉，生长过程均速提拉的法制成的。提拉速度的控制性能将直接影响到晶体的质量。当今，随着 IT产业的迅速发展，单晶硅生产市场需求剧，研制一种满足工艺要求，低成本的提拉速度控制系统具有重要的实际意义。在半导体材料中用量大和用途广的是半导体硅。当今 95 %以上的半导体器件是用硅材料的一种实用的单晶炉提拉速度控制系统\前言半导体材料是半导体工业的基础材料本文结合某单晶炉产品的研制经折算后 (见下节式 ( 3) )。