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直拉式长晶炉射阳滤波柜每台多少钱99%以上的集成电路是硅集成电路 ,生产集成电路所需要的单晶硅 ,是在硅结晶生长始时 ,用提拉的法制成的。在单晶硅生产过程中 ,对晶体的提拉速度有十分严格的要求 ,从某种程度上讲提拉速度的控制好坏将直接影响到晶体的质量。对单晶硅生产过程中的提拉速度控制系统进行研究有实际意义。其中用量大和用途广泛的是半导体硅。当今 95%以上的半导体器件是用硅材料的 单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1 引 言半导体材料是半导体工业的基础材料 图 1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器 线性精度大于± 2 %。降低成本的目的,器件厂家随着生产规模的扩大逐步要求增大硅片直径。硅单晶直径增大后,大熔硅体积,严重的热对流使单晶氧含量增大。晶体直径的增大也使结晶潜热的散发更加困难,结晶速率难以提高。为了解决这两个问题,本文在国产TDR-80单晶炉的基础上,对热场进行了局部改造,施加了新型加强复合式热屏。有限元法是一种能求得许多工程问题近似解的数值分析方法。由于拉单晶过程中投料量较大,炉体结构复杂。出于提高生产率生长Φ8“直拉硅单晶Φ8”热场研究及数值模拟\随着科学的飞速发展造价昂贵。 光伏产品设备、补偿柜、电容柜、整流柜、电源柜、单晶炉,二手长晶炉,单晶硅生长炉,二手85型华盛天龙单晶炉,汉虹,北京京运通,浙江晶盛,北京京仪,常州华盛天龙,常州江南电力,宁夏晶阳,美国KEYEX,西安理工,温州永泰,中电48所,北京有色院,晨华,锦州电炉,沈阳麦科,华盛天龙,晶盛机电,汉虹,晶龙,西安理工,七星华创,京仪,创联,祺科,永泰,世宗,江南电力等品牌的炉子基本上国内的炉子可以按派系来分类,有欧系,日系。 且可减少热 能及氩气消耗的直拉式单晶生长炉。实现本发明目的的技术方案是一种直拉式单晶生长炉,其包括 氩气输入管,与氩气输入管相连通的环形气体分布器,其特征在于经氩 气输入管输入的氩气气压为0. 8xl03Pa0. 9xl03Pa,氩气流量为 30L/min。上述技术方案中。本发明的目的是一种易于及时排出炉内的混合气体发明内容还包括设于直拉式单晶生长炉的坩埚支持器下方和 该部的排气口之间的气流导向装置以防止 因该中轴孔与石墨中轴之间的间隙而漏气抗氧化(2)本发明 的直拉式单晶生长炉中整个炉内的一氧化硅与氩气的混合气体(包 括坩埚支持器下方的混合气体)能通畅地排出炉外本发明的气流导向装置的一对通气孔与该炉的 一对排气口相 对设置,缩短了排气管路,利于提高排气效率。坩埚提升机构的垂直方向采用了滚珠直线导轨和高精度丝杆,在高负载甚电机断电的情况下实现自锁。坩埚旋转采用可承受高转矩的多碶带驱动,从而了齿形带传动的震颤。旋转密封采用可承受轴向力磁流体密封,垂直密封采用不锈钢波纹管。 坩埚提升机构中直线导轨座和底板成90°固定,两者间采用筋板支撑,从而提高整体的刚度,避免由侧向力矩引起的直线导轨和丝杆的变形。 单晶炉,长晶炉,多晶硅炉,半封闭母线槽,插接式母线槽,水冷空调、制冷设备,冷凝器、电容柜,电线电缆,配电箱、电梯、空压机、高压关、互感器、UBS电瓶、电动机、压缩机、机械设备、厨房设备、酒店设备、公设备、电抗器、稳压器、高压柜、低压柜、启动柜,发电机组, 生产线,活动房,配电柜,收购器,冷凝器,叉车, 行车,厂区行车,集装箱等等
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