ATLEX-S OEM用准分子激光器

ATLEX-S系列激光器是一款非常紧凑的紫外光源，设计用于低、中占空比的OEM应用。

产品特点：

· 超紧凑的尺寸

·  超快电晕预电离技术

· HV-固态脉冲发生器

· 激光腔体<3L

· 全新技术的金属陶瓷腔

· 集成真空泵和卤素过滤器

· 全部风冷，温度控制

· 系统集成RS485，RS232，USB和FOC接口

· 方便清洗的光学镜架

· 能量稳定模式

· 符合欧洲CE标准

· RoHS认证

产品应用：

· 光谱学

· 微加工

· 测试和测量

产品参数：

ATLEX-S产品参数  

气体介质   ArF   KrF   单位  

波长   193   248   nm  

高压开关技术   固态开关   固态开关      

重复频率   300   500   300   500   Hz  

脉冲能量1   10   10   15   15   mJ  

平均功率   2,4   4   4   6   W  

脉冲宽度2   5 – 8   ns  

光束尺寸2(V x H)   4 x 6   mm  

光束发散角2(V x H)   1 x 2   mrad  

能量稳定性（标准偏差）   < 3   %  

尺寸（长x宽x高）   mm  

重量   65   kg  

冷却   Air      

电力需求   230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz      

所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。

1 在 重复频率情况下测得：应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。

2 典型值，FWHM