ATLEX-1000-I准分子激光器

德国ATL Lasertechnik公司专业生产小型化、高重频、紧凑型短脉冲准分子激光器，并在该领域保持技术 地位。

产品特点：

· 软电晕预电离

· 全固态高压脉冲发生器

· 激光头容积 < 3L

· TMC（全金属陶瓷）管路

· 集成真空泵和卤素过滤器

· 全部风冷，主动热管 SB及光纤接口

· 可冲洗光具座

· 能量稳定模式

· 符合欧洲CE标准

· 符合RoHS规范

产品应用：

· 微机械加工

· 激光烧蚀

· 光谱学

· 计量学

产品参数：

ATLEX-1000-I 产品参数  

气体介质   ArF   KrF   单位  

波长   193   248   nm  

高压开关技术   固态开关      

脉冲能量1   10   15   mJ  

平均功率   8    10    W  

重复频率    1000    Hz  

脉冲宽度2   5 – 8   ns  

光束尺寸2(V x H)   4 x 6   mm  

光束发散角2(V x H)   1 x 2   mrad  

能量稳定性（标准偏差）   < 3   %  

尺寸（长x宽x高   mm  

重量   60   kg  

冷却   Cooling Air / Optional Liquid      

电力需求   230 VAC / 10 A / 1 phase / 50-60 Hz      

所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。

1 在 重复频率情况下测得：应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。

2 典型值，FWHM