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  • 发布时间:2024/2/10 9:13:25
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  产品规格:单晶炉设备回收
  产品数量:100
  包装说明:提拉式单晶炉回收
  价格说明:120200

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底座,密封环,排气口所组成,在石墨加热器和保温筒之间。上述现有技术的不足之处在于单晶炉的坩埚支持器下方的混合气体不能有效的排出。在真空泵的作 直拉硅单晶炉热场的气流控制方法及装置密封导气管装置由导气管从而使混合气体中的一氧化硅对加热器和坩埚进行腐蚀。其包括在单晶炉晶体生长室内的石墨加热器和保温筒间装有密封导气装置,使含有一氧化硅的氩气气体的气流经密封导气装置的导气管及排气口。使平均成品率从原来的65%提高68%以上,并可提高单晶的内在质量。本发明的气流导向装置的一对通气孔与该炉的一对排气口相对设置,缩短了排气管路,利于提高排气效率。还可使吸附在这些石墨器件上的杂质粉尘减少30%以上,从而确保了该炉的使用寿命,使所述石墨器件的使用寿命从原来的90炉次提高11G炉次以上。

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椭圆封头主要组成部分是半个椭圆壳。壳体是被2个曲面限定的物体,等分壳体各点厚度中点的曲面称为壳体中面,中面由回转曲面形成的壳体称为回转壳体,中面母线回转形成了回转壳体。因此,用椭圆封头的中面母线表示椭圆封头几何形状。后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程基本完成,进行一定的保温冷却后可以取出。
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