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提拉式单晶 00型种种整套单晶炉装备、控制柜,整流柜滤波柜,中频炉、工频炉、电弧炉、电炉变压器、电抗器、电容器组、炼铁炼钢高炉、转炉、熔铜炉、熔银炉、熔金炉、熔铝合金炉、熔不锈钢炉、熔硅炉、熔铝炉、熔铁炉、中频感到炉、不锈钢熔炼炉、中频熔炼炉、退火炉、冷扎机、热扎机、铸炼炉/二手兴旧变压器配电柜高压柜中置柜稳压柜调压柜高压配电柜智能中断路器真空中断路器关柜等等,asdffssfsff 多晶硅铸锭炉衢州衢江离子泵的电话 单晶炉方案:装置采用模块化设计,微机控制,内置自适应能力较强的模糊PID控制算法,具有控制参数自动调节、显示,可通过按键设定初值,系统异常可自动声光告等新功能,即从整体上提高温控系统的智能化程度和控制精度,加快参数调节的响应速度,使整个生产过程中炉温的变化能快速平滑地跟随工艺曲线变化,装置通用性强,操作上更加简单、可靠。 单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1 引 言半导体材料是半导体工业的基础材料用提拉的法制成的。其中用量大和用途广泛的是半导体硅。95%以上的半导体器件是用硅材料的,99%以上的集成电路是硅集成电路在单晶硅生产过程中图1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器在实际单晶炉中。要求提拉速度V能在(0.2~10.0)mm/h内无级调节,它相对于给定信号的线性精度±2%。设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统,并在实际生产中获得成功应用。2 设计的关键图1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速n经减速器。生长过程均速提拉的法制成的。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵, 中频炉成套设备:长期各类钢铁厂 、铸造厂、轧钢厂、冶炼厂用中频炉、工频炉、电弧炉、电炉变压器、电抗器、电容器组、中频电炉、中频熔炼炉、中频感应炉、中频锻造炉、中频淬火炉、中频烧结炉、中频熔铝炉、中频熔钢炉、中频加热炉、中频透热炉等中频炉成套设备。 冶炼设备:长期各类炼铁炼钢高炉、转炉、熔铜炉、熔银炉、熔金炉、熔铝合金炉、熔不锈钢炉、熔硅炉、熔铝炉、熔铁炉、中频感应炉、不锈钢熔炼炉、中频熔炼炉、退火炉、冷扎机、热扎机、铸炼炉、平整机、拉矫机等冶炼设备。
铸造设备:长期各类高频炉,氮化炉、渗碳炉、盐浴炉、真空加热炉、钎焊炉、高频电炉、中频电炉、感应炉、井式炉、熔铝炉、熔铜炉、电弧炉、辐射电炉、网带炉、台车炉、保温炉、罩式炉、退火炉、回火炉、淬火炉、推杆炉、焙烧炉、烧结炉、窑炉、硝盐炉、时效炉、管式炉、氨炉、坩锅电炉、熔炼炉、箱式炉、调质电炉、实验电炉、加热炉、锻造炉、连续炉、热风炉等铸造设备。 |
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